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    4. 六氟乙烷 C2F6
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      六氟乙烷(hexafluoroethane),又稱全氟乙烷,是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物,是鹵代烴(化學式:C2F6),亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。

       

      應用領域

       

         六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術,常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。

       

         六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)

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